單晶硅壓力/差壓變送器(Monocrystalline Silicon Pressure Transmitter) 用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力,然后將其轉變成4-20mA HART電流信號輸出,也可與BST9900、HART375或BST Modem相互通信,通過他們進行參數設定、過程控制。
單晶硅壓力/差壓變送器(MonocrystallineSiliconPressureTransmitter)用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力,然后將其轉變成4-20mAHART電流信號輸出,也可與HART375或BST Modem相互通信,通過他們進行參數設定、過程控制。與傳統壓力變送器的區別在于它使用的是納米單晶硅作為傳感器材料。
單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理:
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。
當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。